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  • 网站名称 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米真空互联实验站
  • 网站简介 纳米真空互联实验站(Nano-X)是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域大科学装置。纳米真空互联实验站通过超高真空管道把各功能设备相互连接,解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、表面氧化和吸附等污染问题。纳米真空互联实验站由具有若干综合功能的材料制备平台、器件工艺平台、测试分析平台组成。三大平台相互关联, ... 详情>>
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TDK更新 : 2022-10-07 19:40:36

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